Mae targed sputtering yn cyfeirio at ffynhonnell sputtering sy'n cael ei sputtered a'i adneuo ar swbstrad o dan amodau proses priodol gan sputtering magnetron, platio ïon aml-arc neu fathau eraill o offer cotio i ffurfio ffilmiau swyddogaethol amrywiol. Yn ôl y cyfansoddiad, gellir rhannu targedau yn dargedau metel pur, targedau aloi, targedau ocsid, targedau silicid, ac ati; yn ôl y siâp, gellir eu rhannu'n dargedau planar (targedau hirsgwar a thargedau arc) a thargedau tiwbaidd. . Defnyddir targedau sputtering yn eang mewn llawer o feysydd megis addurno, offer a mowldiau, gwydr, dyfeisiau electronig, lled-ddargludyddion, recordio magnetig, arddangosfeydd gwastad, celloedd solar, ac ati. Mae angen gwahanol ddeunyddiau targed ar wahanol feysydd.
1. cotio addurniadol
Mae cotio addurniadol yn cyfeirio'n bennaf at orchudd wyneb ffonau symudol, gwylio, sbectol, offer ymolchfa, rhannau caledwedd a chynhyrchion eraill. Mae nid yn unig yn chwarae rhan wrth harddu'r lliw, ond mae ganddo hefyd wrthwynebiad gwisgo, ymwrthedd cyrydiad a swyddogaethau eraill. Mae'r prif fathau o dargedau ar gyfer cotio addurniadol yn cynnwys: targed cromiwm, targed titaniwm, targed zirconiwm, targed nicel, targed twngsten, targed titaniwm-alwminiwm, targed dur di-staen, ac ati.
2. Gorchuddio mowldiau neu offer prosesu
Fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer cryfhau arwyneb offer a mowldiau, a all wella'n sylweddol fywyd gwasanaeth offer a mowldiau ac ansawdd y rhannau wedi'u prosesu. Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, wedi'i ysgogi gan ddatblygiad y diwydiannau awyrofod a modurol, mae lefel dechnegol ac effeithlonrwydd cynhyrchu'r diwydiant gweithgynhyrchu byd-eang wedi gwneud cynnydd mawr, ac mae'r galw am offer torri a mowldiau perfformiad uchel yn cynyddu o ddydd i ddydd. Mae'r prif fathau o dargedau a ddefnyddir ar gyfer cotio llwydni yn cynnwys: targedau titaniwm-alwminiwm, targedau cromiwm, targedau titaniwm, ac ati.
3. Gwydr cotio
Mae cymhwyso deunyddiau targed ar wydr yn bennaf i gynhyrchu gwydr wedi'i orchuddio ag ymbelydredd isel, sy'n defnyddio'r egwyddor o sputtering magnetron i sputter haenau lluosog o ffilmiau tenau ar wydr i gyflawni swyddogaethau arbed ynni, rheoli golau ac addurno. Mae'r prif fathau o dargedau yn cynnwys: targed arian, targed cromiwm, targed titaniwm, targed nicel-cromiwm, targed silicon-alwminiwm, targed titaniwm ocsid, ac ati Cymhwysiad pwysig arall o ddeunyddiau targed ar wydr yw paratoi drychau rearview automobile, yn bennaf cromiwm targedau, targedau alwminiwm, targedau titaniwm ocsid, ac ati Wrth i'r gofynion gradd ar gyfer drychau rearview Automobile barhau i gynyddu, mae llawer o gwmnïau wedi newid o'r broses platio alwminiwm gwreiddiol i'r broses platio crôm sputtering gwactod.
4. cotio dyfais electronig
Defnyddir haenau dyfeisiau electronig yn bennaf ar gyfer gwrthyddion ffilm tenau a chynwysorau ffilm tenau. Mae deunyddiau targed ar gyfer gwrthyddion ffilm tenau yn cynnwys targed NiCr, targed silicon cromiwm nicel (NiCrSi), targed cromiwm silicon (CrSi), targed tantalwm (Ta), targed alwminiwm cromiwm nicel (NiCrA1), ac ati.
5. cotio arddangos gwastad
Mae'r twf cyflym yn y galw am ddyfeisiau arddangos panel gwastad o gyfrifiaduron personol cludadwy, setiau teledu, ffonau symudol, ac ati wedi hyrwyddo datblygiad gwahanol fathau o ddyfeisiau arddangos panel gwastad yn fawr. Mae ei fathau yn cynnwys: dyfais arddangos grisial hylif (LCD), dyfais arddangos plasma (PDP), ac ati Mae'r holl ddyfeisiau arddangos panel gwastad hyn yn defnyddio gwahanol fathau o ffilmiau. Heb dechnoleg ffilm denau, ni fyddai unrhyw ddyfeisiau arddangos panel gwastad. Er mwyn sicrhau unffurfiaeth haenau ardal fawr, gwella cynhyrchiant a lleihau costau, defnyddir technoleg sputtering fwyfwy i baratoi'r haenau hyn. Mae'r prif fathau o dargedau a ddefnyddir ar gyfer cotio arddangos gwastad yn cynnwys: targedau cromiwm, targedau molybdenwm, targedau aloi alwminiwm, targedau copr, ac ati.
6. cotio lled-ddargludyddion
Mae datblygiad cyflym technoleg gwybodaeth yn ei gwneud yn ofynnol i gylchedau integredig fod yn fwy a mwy integredig. Mae pob dyfais uned yn cynnwys swbstrad, haen insiwleiddio, haen dielectrig, haen ddargludo a haen amddiffynnol. Yn eu plith, yr haen deuelectrig, yr haen ddargludyddion a hyd yn oed yr haen amddiffynnol Defnyddir y broses cotio sputtering, felly mae'r targed sputtering yn un o'r deunyddiau craidd ar gyfer paratoi cylchedau integredig. Mae angen purdeb targed uchel ar ddeunyddiau targed ar gyfer cotio lled-ddargludyddion, yn gyffredinol uwchlaw 4N neu 5N. Mae'r prif fathau yn cynnwys twngsten-titaniwm, targedau titaniwm, targedau alwminiwm a thargedau copr.
